特許
J-GLOBAL ID：200903071658528408

赤外線センサ

発明者：
内田 雄一

内田 雄一 について

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山中 浩

山中 浩 について

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辻 幸司

辻 幸司 について

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桐原 昌男

桐原 昌男 について

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吉原 孝明

吉原 孝明 について

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西嶋 洋一

西嶋 洋一 について


出願人/特許権者：
松下電工株式会社

松下電工株式会社 について


代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-153013
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316077
出願日： 2007年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】温度検知部が2次元アレイ状に配置された構成において高感度化および応答速度の高速化を図れる赤外線センサを提供する。【解決手段】ベース基板1と、ベース基板1の一表面側において2次元アレイ状に配列され赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する複数の温度検知部3と、各温度検知部3がベース基板1の上記一表面から離間して配置されるように各温度検知部3を各別に支持して各温度検知部3とベース基板1とを熱絶縁する複数の断熱部4と、ベース基板1の上記一表面側において各温度検知部3および各断熱部4を囲みベース基板1との間に気密空間15を形成する封止部材20とを備える。各断熱部4は、多孔質材料である多孔質の酸化シリコンにより形成されてなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、ベース基板の一表面側において2次元アレイ状に配列され赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する複数の温度検知部と、各温度検知部がベース基板の前記一表面から離間して配置されるように各温度検知部を各別に支持して各温度検知部とベース基板とを熱絶縁する複数の断熱部と、ベース基板の前記一表面側において各温度検知部および各断熱部を囲みベース基板との間に気密空間を形成する封止部材とを備え、各断熱部が、多孔質材料により形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
G01J 1/02 ,  G01J 1/04
FI (3件)：
G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  G01J1/04 A
Fターム (8件)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BB06 ,  2G065CA13
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-270435   出願人：松下電工株式会社
審査官引用 (11件)
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