特許
J-GLOBAL ID：200903072896721727

露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
田邉 正幸

田邉 正幸 について

, 
塚本 雅美

塚本 雅美 について

, 
福田 恵明

福田 恵明 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325785
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144003
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 多くのフィルタを組み合わせて使用する必要なく光学素子に有機化合物が付着するのを防止する。また、光学素子表面を通過するガス中に有機化合物を存在させないようにする。【解決手段】 露光用の光学素子1の周囲を所定のガスが流通するように構成した露光装置において、放電処理によって前記ガス中の有機化合物を除去する手段7、8を設ける。また、前記ガスの流通が行われるように装置を収容するチャンバを備え、前記有機化合物除去手段は、前記ガスを供給する給気ユニット4から前記チャンバヘの前記ガスの導入口3または前記光学素子の近傍のうち少なくともいずれかに取り付ける。
請求項（抜粋）：
露光用の光学素子の周囲を所定のガスが流通するように構成した露光装置において、放電処理によって前記ガス中の有機化合物を除去する手段を具備することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 F
Fターム (6件)：
5F046BA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046DA04 ,  5F046DA27 ,  5F046DA30
引用特許：
審査官引用 (21件)
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