特許
J-GLOBAL ID：200903076507340239

研磨装置

発明者：
関 田 三 郎

関 田 三 郎 について


出願人/特許権者：
株式会社岡本工作機械製作所

株式会社岡本工作機械製作所 について


代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332115
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172930
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 カセットに収容された複数枚のウエハを、カセットから研磨ヘッドに吸着して研磨洗浄し、再びカセット内に収容するまでの工程を連続して行い、生産性を高める。【解決手段】 カセット2内に収容されたウエハ1をローディング部100からウエハ搬送部200へ受け渡し、複数枚のウエハを同時に研磨するインデックス部300の研磨ヘッド302〜305と定盤400の研磨布との間で研磨液を供給しながら研磨し、洗浄部500で洗浄した後のウエハを破損したり汚さないように、水流板602を利用したアンローディング部600によりウエハ3をカセット4まで搬送する。
請求項（抜粋）：
カセット内に収容された研削後のウエハを吸着して垂直方向に180度回転してウエハ搬送部へ受け渡すローディング部と、ローディング部から受け取ったウエハをローディング位置から着脱・洗浄位置へ搬送するとともに、研磨洗浄後のウエハを着脱・洗浄位置で受け取ってアンローディング位置へ搬送するウエハ搬送部と、着脱・洗浄位置でウエハを吸着して水平方向に180度回転して研磨位置まで搬送するインデックス部と、研磨位置でウエハに接触して研磨液と研磨布によりウエハを研磨する定盤と、研磨後のウエハを着脱・洗浄位置で洗浄するウエハ洗浄部と、アンローディング位置でウエハを吸着して垂直方向に180度回転してカセット収納位置まで搬送するアンローディング部とを備えた研磨装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L 21/304 321 A ,  H01L 21/304 321 B
引用特許：
審査官引用 (16件)
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