ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-425010
公開番号（公開出願番号）：特開2004-302430
出願日： 2003年12月22日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】酸条件下で脱離可能な保護基にてアルカリ可溶性基を保護した溶解性変換剤を用いることにより、感度、解像度に優れ、さらに分子末端を有機基で封止したポリオキサゾール前駆体を用いることにより、樹脂自体がアルカリ水溶液へ対する適度な溶解性を有したポジ型感光性樹脂組成物を提供する。また、該ポジ型感光性樹脂組成物は、放射線の照射により前記溶解性変換剤中の保護基の脱離反応を誘発できる化合物を配合することによって、従来からのフォトレジストが有する前記問題を解決し、しかも接着性、耐熱性に富んだポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)カルボン酸残基より誘導される有機基をその分子末端に有するポリオキサゾール前駆体と、(B)活性光線照射により酸を発生する化合物と、(C)酸触媒作用で分解し、水素原子に変換し得る有機基を有する化合物とを含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)カルボン酸残基より誘導される有機基をその分子末端に有するポリオキサゾール前駆体と、(B)活性光線照射により酸を発生する化合物と、(C)酸触媒作用で分解して水素原子に変換し得る有機基を有する化合物とを含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F7/037 , C08G73/06 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/037 , C08G73/06 , G03F7/004 501 , G03F7/039 601 , G03F7/075 511 , H01L21/30 502R

Fターム (30件)：

2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025EA10 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA02 , 4J043PB11 , 4J043PB15 , 4J043PB19 , 4J043QB34 , 4J043RA52 , 4J043SA71 , 4J043TA42 , 4J043TA45 , 4J043TA47 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UB021 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043ZB02

引用特許：

審査官引用 (12件)

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-148562 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-058177 出願人：東レ株式会社
アセタール又はその環状誘導体の側鎖を有するポリアミド及びそれから調製された耐熱性ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-226637 出願人：コリアリサーチインスティチユートオブケミカルテクノロジイ

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引用文献：

審査官引用 (2件)

躍進するポリイミドの最新動向II, 200012, 100-101
ボルハルト・ショアー現代有機化学, 20011120, 271-277

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