特許
J-GLOBAL ID：200903080561702836
光導波路素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315146
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133641
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 変調用電極を厚く形成した場合においても基板から剥離することなく、変調周波数の広帯域化を達成して高速変調することが可能な光導波路素子を提供する。【解決手段】 電気光学効果を有する基板1上において、光導波路2-1及び2-2中を導波する光波を変調するための、信号電極4及び接地電極5-1、5-2を、金属層及び誘電体層とが基板1の主面1Aと垂直な方向において交互に積層してなる、周期的多層構造から構成する。
請求項（抜粋）：
相対向する一対の主面を有し、電気光学効果を具える材料からなる基板と、この基板の一方の主面側に形成された光導波路と、前記基板の前記一方の主面上に形成され、前記光導波路を導波する光波を制御するための進行波型電極とを具えた光導波路素子であって、前記進行波型電極の少なくとも一部は、金属層と誘電体層とが交互に積層されてなる周期的多層構造であることを特徴とする、光導波路素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2H047NA02
, 2H047QA03
, 2H047RA08
, 2H047TA00
, 2H047TA13
, 2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079CA04
, 2H079DA03
, 2H079EA05
, 2H079EB01
, 2H079EB04
, 2H079HA14
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (8件)
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