液晶表示装置用アレイ基板とその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：曾我道照 , 曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-301680
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133422
出願日： 2003年08月26日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】エッチング工程を2度にかけて行う必要がなく、漏れ電流を防止する。【解決手段】ゲート電極131は、銅及び基板と接触特性が良好であってパターン溶液が基板に影響を与えない金属の二重金属層で形成し、ソース電極149及びドレイン電極151は、銅及び下部オーミックコンタクト層と銅との反応を防ぐことができる金属の二重金属層で形成する。また、基板の全面に絶縁膜で保護層159をさらに形成する。【選択図】図5I

請求項（抜粋）：

基板上に構成されて、銅と第1金属バッファー層の二重層で構成されたゲート電極と、ゲート電極と連結したゲート配線と、ゲート配線から延びたゲートパッドと; 前記ゲート電極、ゲート配線及びゲートパッド電極上部に構成された第1絶縁膜と; 前記ゲート電極上部の第1絶縁膜上に積層されて構成されたアクティブ層及びオーミックコンタクト層と; 前記オーミックコンタクト層と接触して、銅と第2金属バッファー層の二重層で構成されたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極と連結したデータ配線と、データ配線から延びたデータパッドと; ソース電極、ドレイン電極及びデータ配線が形成された基板の全面に構成されて、前記ドレイン電極と、ゲートパッド及びデータパッドの一部を露出する保護膜と; 前記露出されたドレイン電極と接触する透明画素電極と、ゲートパッドと接触する透明ゲートパッド電極端子と、データパッドと接触する透明データパッド電極端子と; を含むことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。

IPC (7件)：

G02F1/1368 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/786

FI (9件)：

G02F1/1368 , H01L21/28 301R , H01L29/78 612C , H01L29/78 617L , H01L29/78 616U , H01L29/78 619A , H01L29/58 G , H01L21/88 R , H01L21/90 A

Fターム (106件)：

2H092JA40 , 2H092JA44 , 2H092JA47 , 2H092JA48 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092JB57 , 2H092KA18 , 2H092KB04 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092MA18 , 2H092MA41 , 2H092NA17 , 2H092NA18 , 2H092NA27 , 4M104AA09 , 4M104BB01 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB36 , 4M104BB40 , 4M104CC05 , 4M104DD16 , 4M104DD17 , 4M104DD20 , 4M104DD64 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH09 , 4M104HH16 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH11 , 5F033HH17 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH21 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ38 , 5F033KK04 , 5F033KK07 , 5F033KK11 , 5F033KK17 , 5F033KK18 , 5F033KK19 , 5F033KK20 , 5F033KK21 , 5F033MM05 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033TT04 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX10 , 5F033XX14 , 5F033XX28 , 5F033XX33 , 5F110AA03 , 5F110AA14 , 5F110AA16 , 5F110AA28 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD11 , 5F110EE02 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE43 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF27 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG35 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK32 , 5F110HL07 , 5F110HL22 , 5F110NN03 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN36

引用特許：

審査官引用 (14件)

エッチング剤及びこれを用いた電子機器用基板の製造方法と電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-001127 出願人：株式会社フロンテック
液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-057668 出願人：株式会社東芝
薄膜トランジスタの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-056726 出願人：株式会社日立製作所

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