セラミックス部材及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：中村友之 , 三好秀和 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄 , 鈴木壯兵衞 , 高久浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-096458
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128603
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】耐食性と機械的強度に優れたセラミックス部材を提供する。【解決手段】静電チャック10は、アルミナ焼結体12と、アルミナ焼結体12上に形成され、腐食性ガスに曝されるイットリア焼結体13とを備える基体11と、基体11に埋設された静電電極15とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルミナ焼結体と、該アルミナ焼結体上に形成され、腐食性ガスに曝されるイットリア焼結体とを備える基体と、該基体に埋設された金属部材とを備えることを特徴とするセラミックス部材。

IPC (4件)：

H01L 21/683 , C04B 35/50 , H01L 21/02 , C04B 35/111

FI (4件)：

H01L21/68 R , C04B35/50 , H01L21/02 Z , C04B35/10 D

Fターム (19件)：

4G030AA17 , 4G030AA36 , 4G030BA01 , 4G030BA12 , 4G030BA33 , 4G030CA08 , 4G030GA01 , 4G030GA05 , 4G030GA22 , 4G030GA28 , 4G030GA29 , 4G030GA32 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA19 , 5F031HA37

引用特許：

出願人引用 (3件)

耐プラズマ性部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-251931 出願人：東芝セラミックス株式会社
酸化イットリウム焼結体およびウエハ保持具
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-051338 出願人：株式会社日本セラテック, 太平洋セメント株式会社
耐食性複合部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-207161 出願人：株式会社日本セラテック, 太平洋セメント株式会社

審査官引用 (7件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-315746 出願人：京セラ株式会社
プラズマ発生電極装置およびプラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-135328 出願人：日本碍子株式会社
静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-244793 出願人：東芝セラミックス株式会社

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