特許
J-GLOBAL ID：200903085553946299

レーザーダイシングシートおよびチップ体の製造方法

発明者：
佐藤 陽輔

佐藤 陽輔 について

, 
若山 洋司

若山 洋司 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (2件)： 前田 均 ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-015410
公開番号（公開出願番号）：特開2009-177025
出願日： 2008年01月25日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：
【課題】 レーザーダイシングにおいて、レーザー光によるダイシングシートの切断、チャックテーブルの損傷およびダイシングシートのチャックテーブルへの融着を防止しうるレーザーダイシングシートを提供すること。 【解決手段】 本発明に係るレーザーダイシングシートは、基材と、その片面に形成されたポリウレタンアクリレートからなる粘着剤層とからなり、特に該ポリウレタンアクリレートが、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られる重合物であることが好ましい。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基材と、その片面に形成されたポリウレタンアクリレートからなる粘着剤層とからなるレーザーダイシングシート。
IPC (3件)：
H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 4/00
FI (4件)：
H01L21/78 M ,  H01L21/78 B ,  C09J7/02 Z ,  C09J4/00
Fターム (19件)：
4J004AA10 ,  4J004AA14 ,  4J004AA17 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040EF131 ,  4J040EF221 ,  4J040FA291 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040LA06 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA42
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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