特許
J-GLOBAL ID：200903086007965726
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-273290
公開番号（公開出願番号）：特開2005-031564
出願日： 2003年07月11日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 波長200nm以下の放射線に有効に感応し、放射線に対する透明性が高く、かつパターン倒れが起きず、しかも解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記式(I)で表される構造単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該構造単位中のt-ブトキシカルボニル基が解離したときアルカリ易溶性となるポリシロキサン、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)フッ素含有溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 【化1】〔式(I)において、nは0または1である。〕【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記式(I)で表される構造単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該構造単位中のt-ブトキシカルボニル基が解離したときアルカリ易溶性となるポリシロキサン、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)フッ素含有溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/039
, C08G77/24
, G03F7/004
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08G77/24
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025CC03
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J246AA03
, 4J246AB14
, 4J246BA12X
, 4J246BA120
, 4J246BB02X
, 4J246BB020
, 4J246BB022
, 4J246CA25X
, 4J246CA250
, 4J246CA46X
, 4J246CA460
, 4J246CA63X
, 4J246CA630
, 4J246CB08
, 4J246FA071
, 4J246FA131
, 4J246FA321
, 4J246FA421
, 4J246FB081
, 4J246FB221
, 4J246FE04
, 4J246FE22
, 4J246FE33
, 4J246FE35
, 4J246GA01
, 4J246GC45
, 4J246GD08
, 4J246HA15
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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