光素子及びその製造方法並びに電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165017
公開番号（公開出願番号）：特開2002-094082
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】装置の小型化を図るとともに両面の電気的導通を確保することができる光素子及びその製造方法並びに電子機器を提供することにある。【解決手段】光素子の製造方法は、光学部13と、光学部13と電気的に接続された電極2と、を備えた半導体素子3に貫通穴4を形成することと、貫通穴4の内壁面を含み、半導体素子3の光学部13が形成された側の第1の面Bから、この第1の面Bに対向する第2の面Aに亘る導電層8を形成することと、を有する。

請求項（抜粋）：

光学部と、前記光学部と電気的に接続された電極と、を備えた半導体素子に貫通穴を形成することと、前記貫通穴の内壁面を含み、前記半導体素子の前記光学部が形成された側の第1の面から、前記第1の面に対向する第2の面に亘る導電層を形成することと、を有する光素子の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 31/02 , H01L 21/3205 , H01L 23/12 501 , H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (5件)：

H01L 23/12 501 P , H04N 5/335 U , H01L 31/02 B , H01L 27/14 D , H01L 21/88 J

Fターム (58件)：

4M118AA09 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118CA32 , 4M118EA01 , 4M118EA05 , 4M118GC07 , 4M118GD07 , 4M118HA02 , 4M118HA24 , 4M118HA29 , 4M118HA31 , 5C024BX01 , 5C024BX06 , 5C024BX07 , 5C024CY47 , 5C024EX25 , 5C024GX02 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH12 , 5F033HH13 , 5F033JJ07 , 5F033JJ11 , 5F033JJ12 , 5F033JJ13 , 5F033KK07 , 5F033KK11 , 5F033KK12 , 5F033KK13 , 5F033MM30 , 5F033PP15 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ13 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ53 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR22 , 5F033SS11 , 5F033VV07 , 5F033XX00 , 5F088BA15 , 5F088BA16 , 5F088BB03 , 5F088DA20 , 5F088EA16 , 5F088FA09 , 5F088FA11 , 5F088HA05 , 5F088JA09 , 5F088JA12 , 5F088JA13 , 5F088JA20

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭61-128564
マイクロエレクトロニクス素子とエッチング困難な半導体材料と金属化された孔とを備えた構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-173636 出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク
特開昭62-243370

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