特許
J-GLOBAL ID：200903087488458721

CMOS半導体装置

発明者：
中村 俊二

中村 俊二 について

, 
島 昌司

島 昌司 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-189346
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332687
出願日： 2006年07月10日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】CMOS半導体装置において、pチャネルMOSトランジスタの動作速度を向上させる。【解決手段】第1の素子領域と第2の素子領域とを含む基板と、前記第1の素子領域上に第1のゲート絶縁膜を介して形成されたn型半導体材料よりなる第1のゲート電極と、前記第1の素子領域中、前記第1のゲート電極の両側に形成された一対のn型拡散領域と、前記第2の素子領域上に第2のゲート絶縁膜を介して形成されたp型半導体材料よりなる第2のゲート電極と、前記第2の素子領域中、前記第2のゲート電極の両側に形成された一対のp型拡散領域とよりなるCMOS半導体装置において、前記第2の素子領域は、前記第1の素子領域のホール移動度よりも大きなホール移動度を有する。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
第1の素子領域と第2の素子領域とを含む基板と、 前記第1の素子領域上に第1のゲート絶縁膜を介して形成されたn型半導体材料よりなる第1のゲート電極と、 前記第1の素子領域中、前記第1のゲート電極の両側に形成された一対のn型拡散領域と、 前記第2の素子領域上に第2のゲート絶縁膜を介して形成されたp型半導体材料よりなる第2のゲート電極と、 前記第2の素子領域中、前記第2のゲート電極の両側に形成された一対のp型拡散領域とよりなるCMOS半導体装置であって、 前記第2の素子領域は、前記第1の素子領域のホール移動度よりも大きなホール移動度を有することを特徴とするCMOS半導体装置。
IPC (6件)：
H01L 27/092 ,  H01L 21/823 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/78
FI (6件)：
H01L27/08 321C ,  H01L27/08 321D ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/58 G ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/78 301B
Fターム (88件)：
4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB06 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB40 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD43 ,  4M104DD55 ,  4M104DD83 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F048AA08 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA19 ,  5F048BB04 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB09 ,  5F048BB10 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BD09 ,  5F048BE03 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048DA23 ,  5F140AA01 ,  5F140AB03 ,  5F140AC01 ,  5F140AC28 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA05 ,  5F140BA06 ,  5F140BA17 ,  5F140BB18 ,  5F140BC13 ,  5F140BD01 ,  5F140BD05 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BE07 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF16 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF25 ,  5F140BG08 ,  5F140BG28 ,  5F140BG32 ,  5F140BG33 ,  5F140BG39 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK25 ,  5F140CA02 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CE07
引用特許：
審査官引用 (13件)
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