特許
J-GLOBAL ID：200903087550931935
ウェーハ・ハンドリング装置用組立体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158534
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035903
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 高温のウェーハに発生する熱勾配を著しく低減するブレードの開口部アレイを提供する。【解決手段】 機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード組立体24は、中央領域を有する細長平面部材を含み、中央領域は第1開口部アレイと第2開口部アレイとを有する。第1アレイの開口部は、平面部材の長さ方向に沿って伸長するとともに中央領域の中心点を通る縦方向中心軸の対向する側に、第2アレイの開口部に対し略対称的に設けられる。第1アレイの開口部は、細長平面部材の幅方向に沿って伸長するとともに中央領域の中心点を通る垂直軸に対し略対称的に設けられる。第2アレイの開口部は垂直軸に対し略対称的に設けられる。また組立体24はリスト上部キャップとリスト下部キャップを有するリスト26を含む。
請求項（抜粋）：
機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレードであって、前記ブレードは、中央領域を有する細長平面部材を備え、前記中央領域は第1開口部アレイと第2開口部アレイとを有し、前記第1アレイの開口部は、前記平面部材の長さ方向に沿って伸長するとともに前記中央領域の中心点を通る縦方向中心軸の対向する側に、前記第2アレイの開口部に対し略対称的に設けられ、前記第1アレイの開口部は、前記細長平面部材の幅方向に沿って伸長するとともに前記中央領域の中心点を通る垂直軸に対し略対称的に設けられ、前記第2アレイの開口部は前記垂直軸に対し略対称的に設けられる、機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25J 15/08 Z
, B65G 49/07 C
