特許
J-GLOBAL ID:200903087744831990
ヒーター付きポペット弁
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 宏 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-392028
公開番号(公開出願番号):特開2003-194257
出願日: 2001年12月25日
公開日(公表日): 2003年07月09日
要約:
【要約】【課題】 ポペット弁のケーシングの外周面全体を、安価な棒状ヒーターを使用して効率良く加熱できるようにする。【解決手段】 メインポート11,12と、これらのメインポート11,12を結ぶ流路14と、この流路14中に設けられた環状の弁座15と、この弁座15を開閉するポペット式の弁部材13と、この弁部材13に連結されたロッド16とを有する弁ケーシング10の外周面に、該弁ケーシング10の全周を取り囲むように熱伝導性素材からなる伝熱カバー30を被着し、この伝熱カバー30に設けたヒーター孔31内に、棒状をなす第1ヒーター32を取り付ける。
請求項(抜粋):
第1メインポート及び第2メインポートと、これら両メインポートを結ぶ流路と、該流路中に設けられた環状の弁座とを有する弁ケーシング、前記弁ケーシングに連結されたシリンダー、前記弁ケーシング内に設けられて前記弁座を開閉するポペット式の弁部材、前記弁部材に先端部を連結され、基端部が前記シリンダーの内部まで延びるロッド、前記シリンダーの内部に摺動自在に配設されると共に、前記ロッドの基端部に連結されたピストン、前記弁ケーシングの外周面に該弁ケーシング全体を取り囲むように被着された熱伝導性素材からなる伝熱カバー、前記伝熱カバーに内蔵された棒状をなす一つ以上の第1ヒーター、を有することを特徴とするヒーター付きポペット弁。
IPC (4件):
F16K 49/00
, B01J 3/00
, B01J 3/02
, F16K 51/02
FI (4件):
F16K 49/00 B
, B01J 3/00 J
, B01J 3/02 K
, F16K 51/02 A
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (10件)
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ヒーティング機能付真空弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-111243
出願人:シーケーディ株式会社
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ガス供給装置の温度制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-104780
出願人:シーケーディ株式会社
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流体圧制御弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-254144
出願人:シーケーディ株式会社
-
真空排気弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-025775
出願人:株式会社ベンカン
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電子機器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-339462
出願人:長野日本無線株式会社
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CVD原料用気化装置およびこれを用いたCVD装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-081499
出願人:三菱電機株式会社
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真空比例開閉弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-360104
出願人:シーケーディ株式会社
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流量制御用バルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-171177
出願人:株式会社ベンカン
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弁装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-141680
出願人:アネルバ株式会社
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モータ駆動式バルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-162433
出願人:株式会社豊田自動織機製作所
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