特許
J-GLOBAL ID：200903088847394757
ハーフトーンブランクス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中山 清
, 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-037206
公開番号（公開出願番号）：特開2008-203374
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：
【課題】 ハーフトーンマスクの製造が容易で多大な設備投資を必要としないハーフトーンブランクスを提供する。【解決手段】 透明基板1上に、半透過膜2、エッチングストッパー膜3、遮光膜4が順次形成されている。エッチングストッパー膜3は、遮光膜4をエッチングする際にエッチングが半透過膜2まで進行しないようにするものである。遮光膜4はクロム又はクロム化合物で形成されている。エッチングストッパー膜3は、アルミニウムを主成分とする膜であり、にシリコン又はチタンが少量添加されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明基板上に、半透過膜、エッチングストッパー膜、遮光膜を順次形成した構造のハーフトーンブランクスであって、
遮光膜は、クロム又はクロム化合物で形成されており、
エッチングストッパー膜は、遮光膜をエッチングする際に当該エッチングが半透過膜まで進行しないようにするものであって、アルミニウムを主成分とする膜であることを特徴とするハーフトーンブランクス。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H095BB01
, 2H095BB14
, 2H095BC05
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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