特許
J-GLOBAL ID：200903089530457741
表示装置の基板の製造方法及び結晶化装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-318473
公開番号（公開出願番号）：特開2004-153150
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】表示装置の基板の製造方法及び結晶化装置に関し、安価に歩留りよく高性能な表示装置の基板を製造することを目的とする。【解決手段】複数のパネル領域を有し、各パネル領域が画素部18及び該画素部のまわりの周辺回路部20を備えた表示装置の基板の製造方法であって、該基板に形成した非晶質半導体層を複数のレーザー光28にて同時に結晶化する工程を含み、一つのパネル領域の周辺回路部20は複数のレーザー光28のうちの1つのレーザー光28のみで結晶化される構成とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
複数のパネル領域を有し、各パネル領域が画素部及び該画素部のまわりの周辺回路部を備えた表示装置の基板の製造方法であって、
該基板に形成した非晶質半導体層を複数の強エネルギー光にて同時に結晶化する工程を含み、一つのパネル領域の周辺回路部は該複数の強エネルギー光のうちの1つの強エネルギー光のみで結晶化されることを特徴とする表示装置の基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/20
, H01L21/268 F
, H01L21/268 J
5F052AA02
, 5F052BA01
, 5F052BA02
, 5F052BA04
, 5F052BA11
, 5F052BB07
, 5F052CA10
, 5F052DA02
, 5F052FA00
, 5F052JA01
