特許
J-GLOBAL ID：200903091151558845
特にマイクロリソグラフィ用の照明光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡邊 隆
, 志賀 正武
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-530918
公開番号（公開出願番号）：特表2004-510341
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
第1光学コンポーネントと、第2光学コンポーネントと、像面と、射出瞳とを備える照明光学系を設ける。第1光学コンポーネントは、第2光学コンポーネントによって射出瞳内に結像される複数の2次光源に1次光源を変換する。第1光学コンポーネントは、第1光学素子を備えており、この第1光学素子が像面内に結像される複数の第1ラスタ素子を有し、像面内のフィールド上で重ね合わせられる複数の像を生成する。像面内に結像される第1のラスタ素子が略全て照明されるように設ける。
請求項（抜粋）：
特に193nm以下の波長を用いるマイクロリソグラフィ用の照明光学系であって、
1次光源(6501,7501,8401)と、
第1の光学コンポーネントと、
第2の光学コンポーネント(6521,7221,7521,8421)と、
像面(6529,7229,7529,8429)と、
射出瞳(6533,7233,7533)とを備え、
前記第1の光学コンポーネントは、前記第2の光学コンポーネント(6521,7221,7521,8421)によって前記射出瞳(6533,7233,7533)内に結像される複数の2次光源へと、前記1次光源(6501,7501,8401)を変換し、
前記第1の光学コンポーネントは、第1の光学素子を備え、この第1の光学素子は、前記像面(6529,7229,7529,8429)内に結像される複数の第1のラスタ素子(6509,7209,7309,7309,8409)を有して、前記像面(6529,7229,7529,8429)内のフィールド上で少なくとも一部重ね合わせられる複数の像を生成し、
前記像面(6529,7229,7529,8429)内に結像される第1のラスタ素子(6509,7209,7309,7309,8409)は、略全て照明されるように設けられている照明光学系。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B19/00
, G03F7/20
H01L21/30 515D
, G02B19/00
, G03F7/20 502
, G03F7/20 521
2H052BA02
, 2H052BA03
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F046BA05
, 5F046CA07
, 5F046CB02
, 5F046CB23
, 5F046GA03
, 5F046GB01
