特許
J-GLOBAL ID：200903093395357020
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119750
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312729
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】優れた耐プラズマ性とハロゲン系ガスに対する優れた耐食性を有するとともに、300〜550°Cの全ての温度域においてジョンソン・ラーベック力による静電吸着力を発現させて試料を固定することができる静電チャックを提供する。【解決手段】セラミック基板2上に静電吸着用電極3を有するとともに、該静電吸着用電極3を覆うように上記セラミック基板2上にセラミック誘電体層4を被覆一体化し、該セラミック誘電体層4の上面を試料Wの保持面5としてなる静電チャック1において、少なくとも上記セラミック誘電体層4を、アルミナ含有量が99重量%以上で、アルミナの平均結晶粒子径が1〜3μmであるとともに、気孔率が0.5%以下であるアルミナ焼結体により形成し、300〜550°Cの温度域において上記セラミック誘電体層4を構成するアルミナ焼結体の体積固有抵抗値を1×108 〜1011Ω・cmとし、ジョンソン・ラーベック力を発現させて試料Wを吸着固定できるようにする。
請求項（抜粋）：
セラミック基板上に静電吸着用電極を有するとともに、該静電吸着用電極を覆うように上記セラミック基板上にセラミック誘電体層を被覆一体化し、該セラミック誘電体層の上面を試料の保持面としてなる静電チャックにおいて、少なくとも上記セラミック誘電体層を、アルミナ含有量が99重量%以上で、アルミナの平均結晶粒子径が1〜3μmであるとともに、気孔率が0.5%以下で、かつ300〜550°Cの全ての温度域における体積固有抵抗値が1×108 〜1×1011Ω・cmの範囲にあるアルミナ焼結体により形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, C04B 35/111
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
, C04B 35/10 D
