摺動部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山本尚 , 中山千里
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-264149
公開番号（公開出願番号）：特開2008-081630
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

【課題】摺動部材へのダイヤモンドライクカーボンの高い密着性を実現すると共に、低摩擦性を示す摺動部材を提供すること。【解決手段】基材5上へ、クロム層からなる中間層6を設け、当該中間層6上へは、ダイヤモンドライクカーボンからなるDLC多層膜10をUBMスパッタリング法により形成し、当該DLC多層膜10は、傾斜層12および傾斜層12側から高硬度層と低硬度層とが周期的な構造を有する積層構造層11を形成することにより、ダイヤモンドライクカーボン層の摺動部材への密着性を高め、且つ、摩擦係数を低くして、優れた摺動性を実現する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材と、当該基材上に設けられた金属を含む中間層と、当該中間層上に設けられ、当該中間層から離れるに従って、硬度が連続的又は段階的に増加するダイヤモンドライクカーボン層からなる第1ダイヤモンドライクカーボン層と、当該第1ダイヤモンドライクカーボン層上に設けられ、所定硬度のダイヤモンドライクカーボン層からなる低硬度層と当該低硬度層より高い硬度のダイヤモンドライクカーボン層からなる高硬度層とが、前記第1ダイヤモンドライクカーボン層上側から、高硬度層、低硬度層の順に交互に積層された第2ダイヤモンドライクカーボン層とを備え、前記第1ダイヤモンドライクカーボン層及び第2ダイヤモンドライクカーボン層中の水素含有量が20at%〜50at%であることを特徴とする摺動部材。

IPC (6件)：

C10M 103/02 , C23C 14/06 , C01B 31/02 , C10M 103/04 , C10M 135/18 , C10M 137/10

FI (6件)：

C10M103/02 Z , C23C14/06 F , C01B31/02 101Z , C10M103/04 , C10M135/18 , C10M137/10 A

Fターム (32件)：

4G146AA05 , 4G146AA17 , 4G146AB07 , 4G146AC23B , 4G146AC27A , 4G146AC27B , 4G146AD16 , 4G146AD26 , 4G146BC10 , 4G146BC15 , 4G146BC19 , 4G146BC31B , 4H104AA04A , 4H104AA08A , 4H104BG10C , 4H104BH07C , 4H104EA21A , 4H104FA02 , 4H104FA06 , 4H104LA03 , 4H104PA01 , 4H104QA15 , 4H104QA18 , 4K029BA34 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA05 , 4K029DC02 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

摺動部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-162782 出願人：トヨタ自動車株式会社

審査官引用 (10件)

摺動部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-162782 出願人：トヨタ自動車株式会社
ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-081969 出願人：株式会社神戸製鋼所
ダイヤモンドライクカーボン多層膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-126827 出願人：株式会社神戸製鋼所

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