特許
J-GLOBAL ID：200903099282176469

ウエハ支持加熱用ヒータ

発明者：
右田 靖

右田 靖 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-278440
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114354
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】ウエハの周縁からの熱引けを抑え、ウエハの温度分布を均一化するとともに、ウエハが所定の処理温度に加熱されるまでの昇温時間を短縮し、かつウエハ支持加熱用ヒータの消費電力を低減する。【解決手段】抵抗発熱体3を埋設してなる板状セラミック体2の一方の主面2aに、ウエハを収容する凹部5を設けてその底面をウエハの載置面4とするとともに、上記凹部5の深さをウエハの厚みと同等またはウエハの厚みより大きくしてウエハ支持加熱用ヒータ1を構成する。
請求項（抜粋）：
抵抗発熱体を埋設してなる板状セラミック体の一方の主面に、被加熱物としてのウエハを収容するための凹部を設け、該凹部の底面を上記ウエハの載置面とするとともに、上記凹部の深さを前記ウエハの厚みと同等あるいはウエハの厚みよりも大きくしたことを特徴とするウエハ支持加熱用ヒータ。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H05B 3/18
FI (2件)：
H01L 21/68 N ,  H05B 3/18
Fターム (14件)：
3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB30 ,  3K092QB62 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092SS12 ,  3K092TT40 ,  3K092VV16 ,  3K092VV22 ,  3K092VV40 ,  5F031CA02 ,  5F031HA37 ,  5F031HA64
引用特許：
審査官引用 (12件)
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