特許
J-GLOBAL ID：201003033142516430

アクティブ除振ユニット

発明者：
渡苅 佐登志

渡苅 佐登志 について

, 
馬場 美充

馬場 美充 について


出願人/特許権者：
株式会社ナベヤ

株式会社ナベヤ について


代理人 (2件)： 中島 三千雄 ,  中島 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-273782
公開番号（公開出願番号）：特開2010-101437
出願日： 2008年10月24日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】除振台の水平方向の振動に対して、応答性良く、アクティブ除振を行い得ると共に、除振台に鉛直方向の移動が生じても、それによる悪影響を受けることの少ない、コンパクトな構造のアクティブ除振ユニットを提供すること。【解決手段】微小変位センサ8による検出情報に基づき、除振台2における水平方向の微小変位を除去する微小変位アクチュエータ機構10として、ダイヤフラム28に永久磁石44を取り付けてなる水平ダイヤフラムアクチュエータ20を、床4に立設した支持板22に配設する一方、永久磁石44が磁着可能な鉄ブロック16を除振台2側に設けてなる、水平方向の微小変位を除去するための第一の微小変位アクチュエータ12を設け、更に、永久磁石44と鉄ブロック16とが、それらの鉛直方向の相互の摺動を許容する第一のすべり板46を介して、磁着可能として、アクティブ除振ユニットを構成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
除振台と床との間に介装されて、かかる除振台を防振、支持するようにした除振ユニットにして、該除振台の重量を支える弾性支持体と、該除振台における少なくとも水平方向の微小変位を検出する微小変位センサと、該微小変位センサにて検出される微小変位に基づいて、該除振台における少なくとも水平方向の微小変位を除去する微小変位アクチュエータ機構とを含み、 且つ該微小変位アクチュエータ機構が、空気圧の導入・排出によってピストン移動せしめられるダイヤフラムに永久磁石を取り付けてなる第一のシリンダを、前記除振台及び床の何れか一方から鉛直方向に延びる支持部に、該第一のシリンダによるピストン移動の方向が水平方向となるように配設する一方、該除振台及び床の何れか他方から鉛直方向に延びる、前記永久磁石が磁着可能な第一の磁着部を設けてなる、水平方向の微小変位を除去するための第一の微小変位アクチュエータを少なくとも有し、更に、前記第一のシリンダに取り付けた永久磁石と前記第一の磁着部とが、それらの鉛直方向の相互の摺動を許容する第一のすべり板を介して、磁着可能とされていることを特徴とするアクティブ除振ユニット。
IPC (4件)：
F16F 15/02 ,  F16F 15/04 ,  F16F 15/067 ,  F16F 15/08
FI (5件)：
F16F15/02 A ,  F16F15/04 A ,  F16F15/067 ,  F16F15/08 X ,  F16F15/04 B
Fターム (12件)：
3J048AA01 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048BC02 ,  3J048BD01 ,  3J048BD08 ,  3J048BE02 ,  3J048CB30 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13
引用特許：
出願人引用 (14件)
  • 除振装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-123239   出願人：株式会社日立製作所
  • 除振台
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-032318   出願人：株式会社熊谷組
  • 双方向制振ダンパと除振マウント
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-026637   出願人：NECファシリティーズ株式会社
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