特許
J-GLOBAL ID:201003060073112922

銅回路部品およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-169763
公開番号(公開出願番号):特開2010-010500
出願日: 2008年06月30日
公開日(公表日): 2010年01月14日
要約:
【課題】 小型で、微細な配線を有する銅回路部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の銅回路部品は、3次元配線を有する銅回路部品の基材表面に配線となる凹部を形成する工程と、凹部を含む基材表面に電解めっきの導電層となる第1の金属層を形成する工程と、配線となる凹部にのみ選択的に配線となる第2の金属層を形成する工程と、配線となる凹部以外の表面に形成された第1の金属層を除去する工程と、を含む配線の形成方法によって製造される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
銅回路の土台となる絶縁基材に3次元の配線パターンを有する銅回路部品において、前記配線は前記絶縁基材に埋設されていることを特徴とする銅回路部品。
IPC (3件):
H05K 1/02 ,  H05K 3/10 ,  H05K 3/18
FI (3件):
H05K1/02 L ,  H05K3/10 E ,  H05K3/18 G
Fターム (26件):
5E338AA05 ,  5E338AA16 ,  5E338AA18 ,  5E338CD01 ,  5E338EE22 ,  5E343AA12 ,  5E343AA22 ,  5E343AA23 ,  5E343AA26 ,  5E343BB16 ,  5E343BB24 ,  5E343BB35 ,  5E343BB38 ,  5E343BB40 ,  5E343BB44 ,  5E343BB45 ,  5E343BB48 ,  5E343BB52 ,  5E343DD25 ,  5E343DD33 ,  5E343DD43 ,  5E343DD44 ,  5E343DD76 ,  5E343ER26 ,  5E343FF16 ,  5E343GG08
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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