特許
J-GLOBAL ID：201003064557437694
極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-251632
公開番号（公開出願番号）：特開2010-135769
出願日： 2009年11月02日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：
【課題】本発明の極端紫外光源装置は、レーザ光の光学性能を適切に補正する。【解決手段】ドライバレーザ発振器20から出力されるレーザ光を増幅させるための増幅システム30内に、ドライバパルスレーザ光と実質的に同一の光軸及び同一のビーム径を有するガイドレーザ光が導入される。ガイドレーザ光は、レーザ装置50から連続光として出力され、ガイドレーザ光導入ミラー52を介して、ドライバパルスレーザ光の光路に導入される。センサ44は、レーザ光の角度(方向)や波面の曲率の変化を検出する。波面補正コントローラ60は、センサ36の計測結果に基づいて、波面補正部34に信号を出力する。波面補正部34は、波面補正コントローラ60からの指示に従って、レーザ光の波面を所定の波面に修正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲット物質にドライバパルスレーザ光を照射してプラズマ化させることにより、極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
チャンバ内に前記ターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、
前記ドライバパルスレーザ光を出力するドライバレーザ装置と、
前記ドライバレーザ装置から出力される前記ドライバパルスレーザ光を前記チャンバ内の前記ターゲット物質に照射させる光学系と、
ガイドレーザ光を出力するガイドレーザ装置と、
前記ガイドレーザ光を、前記ドライバパルスレーザ光の光路に沿わせて、前記光学系に導入させるガイドレーザ光導入部と、
前記光学系に導入される前記ガイドレーザ光の光学性能を検出するガイドレーザ光検出部と、
前記光学系に設けられ、前記ガイドレーザ光の前記光学性能を補正する補正部と、
前記ガイドレーザ光検出部により検出される前記光学性能が所定値となるように、前記補正部を制御する補正制御部と、
を備える、極端紫外光源装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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