特許
J-GLOBAL ID：201003069310453486
試料保持具
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-174695
公開番号（公開出願番号）：特開2010-016176
出願日： 2008年07月03日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：
【課題】パーティクル発生やパーティクルの飛散を抑制するとともに、真空引きに要する排気時間を短時間化する。【解決手段】基体と、前記基体の一主面上に設けられた突起部と、を有する試料保持具であって、前記突起部は、前記一主面と略平行な突出端面を有し、前記突出端面から前記一主面に連なる側面が、前記突出端面の周縁に連ねる凸曲面部と、前記凸曲面部から前記一主面にかけて連なる凹曲面部と、を備え、前記頂面から、前記凸曲面部と前記凹曲面部との境界を通り前記一主面と平行な平面まで距離に対し、前記平行な平面から前記一主面までの距離が、より大きくされていることを特徴とする試料保持具を提供する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基体と、前記基体の一主面上に設けられた突起部と、を有する試料保持具であって、
前記突起部は、前記一主面と略平行な突出端面を有し、
前記突出端面から前記一主面に連なる側面が、
前記突出端面の周縁に連ねる凸曲面部と、前記凸曲面部から前記一主面にかけて連なる凹曲面部と、を備え、
前記頂面から、前記凸曲面部と前記凹曲面部との境界を通り前記一主面と平行な平面まで距離に対し、前記平行な平面から前記一主面までの距離が、より大きくされていることを特徴とする試料保持具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA08
, 5F031HA13
, 5F031MA22
, 5F031MA24
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F031PA26
出願人引用 (3件)
審査官引用 (9件)
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