特許
J-GLOBAL ID：201003071508169630

鉛含有圧電膜およびその作製方法、鉛含有圧電膜を用いる圧電素子、ならびにこれを用いる液体吐出装置

発明者：
新川 高見

新川 高見 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-253263
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087144
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】従来に比してヒステリシスの偏り、非対称性が小さく、圧電定数がプラス方向で大きく良好な特性を持ち、正電圧印加(正電界印加状態)でも大きな変位が得られ、正常に駆動させることができ、汎用の駆動ICを用いることができる鉛含有圧電膜、その作製方法、これを用いる圧電素子およびこれを用いる液体吐出装置を提供する。【解決手段】鉛を含有する圧電膜であり、その膜厚が、3μm以上であり、d31(+)/d31(-)>0.5であり、d31(+)>100pm/Vであり、好ましくは、圧電膜中の鉛量が1.03以下である。なお、d31(+)およびd31(-)は、それぞれ圧電膜に上部および下部電極を形成して上部電極に正電圧および負電圧を印加した時に測定される圧電膜の圧電定数である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
鉛を含有する圧電膜であって、その膜厚が、3μm以上であり、d31(+)/d31(-)>0.5であり、d31(+)>100pm/Vであることを特徴とする鉛含有圧電膜。 ここで、d31(+)およびd31(-)は、それぞれ前記圧電膜に上部電極および下部電極を形成して前記上部電極に正電圧および負電圧を印加した時に測定される前記圧電膜の圧電定数である。
IPC (10件)：
H01L 41/24 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  C04B 35/49 ,  C23C 14/08 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (9件)：
H01L41/22 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 B ,  H01L27/10 444C ,  C04B35/49 A ,  C23C14/08 K ,  B41J3/04 103A
Fターム (30件)：
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP16 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029CA06 ,  4K029DA08 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  4K029EA05 ,  4K029EA06 ,  4K029EA08 ,  5F083FR00 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA10 ,  5F083JA15 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43 ,  5F083PR22
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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