特許
J-GLOBAL ID：201003074501680672

ポリシラザン系トレンチ埋め込み用組成物

発明者：
斎藤 秀夫

斎藤 秀夫 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-021883
公開番号（公開出願番号）：特開2010-177647
出願日： 2009年02月02日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】基体に形成されたトレンチ内にシリコン酸化物を埋め込むために使用するのに好適な、トレンチへの埋め込み性が高く、硬化収縮率が小さく、かつ良好なクラック耐性を有するシリコン酸化物塗膜を与えるトレンチ埋め込み用組成物を提供すること。【解決手段】水素化ポリシラザン化合物と、シリカ粒子に由来する構造を有する反応物とを含むことを特徴とするトレンチ埋め込み用組成物を提供する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
水素化ポリシラザン化合物と、シリカ粒子に由来する構造を有する反応物とを含むことを特徴とするトレンチ埋め込み用組成物。
IPC (8件)：
H01L 21/76 ,  C08L 83/16 ,  C08G 77/62 ,  C08G 77/12 ,  C08G 77/44 ,  C08L 83/02 ,  C08K 3/36 ,  H01L 21/316
FI (8件)：
H01L21/76 L ,  C08L83/16 ,  C08G77/62 ,  C08G77/12 ,  C08G77/44 ,  C08L83/02 ,  C08K3/36 ,  H01L21/316 C
Fターム (34件)：
4J002CP042 ,  4J002CP052 ,  4J002CP082 ,  4J002CP211 ,  4J002DJ016 ,  4J246AA03 ,  4J246AA10 ,  4J246AA11 ,  4J246BB08X ,  4J246BB083 ,  4J246CA01M ,  4J246CA01X ,  4J246CA13X ,  4J246CA76M ,  4J246FA151 ,  4J246GA01 ,  4J246GC52 ,  4J246HA63 ,  4J246HA66 ,  5F032AA34 ,  5F032AA44 ,  5F032AA54 ,  5F032AA74 ,  5F032CA21 ,  5F032DA09 ,  5F032DA10 ,  5F032DA41 ,  5F032DA53 ,  5F032DA74 ,  5F058BA09 ,  5F058BC02 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ06
引用特許：
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM