特許
J-GLOBAL ID：201003086954180571

測定システムおよび干渉計

発明者：
奈良 正之

奈良 正之 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-033546
公開番号（公開出願番号）：特開2010-190633
出願日： 2009年02月17日
公開日（公表日）： 2010年09月02日
要約：
【課題】産業機械と干渉計とが衝突してしまうことを防止できる測定システムを提供すること。【解決手段】移動体21と干渉計3とが接近しすぎるなど、移動体21に取り付けられた反射体41に対する測定においてなんらかの異常があった場合、干渉計3の判定手段7が受光信号に基づいて、反射体41に対する測定において異常があると判定し、干渉計3の停止命令出力手段52が産業機械2に停止命令を出力する。そして、停止命令が入力された産業機械2の停止手段231が移動機構22の駆動を停止させ、移動体21の移動を停止させる。従って、移動体21と干渉計3とが接近しすぎるなど、移動体21の測定においてなんらかの異常があった場合、産業機械2の停止手段231が移動機構22の駆動を停止させることとなるので、産業機械2と干渉計3とが衝突してしまうことを防止することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象物を測定するための測定子や加工するための加工具が取り付けられ前記対象物に対して相対的に移動する移動体、前記対象物が載置される載置テーブル、および前記移動体を前記対象物に対して移動させまたは前記載置テーブルを移動させることにより前記対象物を前記移動体に対して移動させる移動機構を有する産業機械と、前記移動体に取り付けられる反射体、光源、受光手段を有し前記光源からの光を前記反射体へ射出するとともに前記反射体にて反射された光を前記受光手段により受光して受光信号を出力する測定装置、および前記受光信号に基づいて前記測定装置内の基準点から前記反射体までの距離を算出する情報処理装置を有し、前記移動体が前記移動機構により前記対象物に対して移動する場合には、前記測定装置が前記移動体に対して相対的に移動することとなり、前記移動機構によって前記載置テーブルが移動することにより前記対象物が前記移動体に対して移動する場合には、前記測定装置が前記載置テーブル上に設置され前記移動体に対して移動することとなる干渉計とを備えた測定システムであって、 前記情報処理装置は、 前記受光信号に基づいて、前記反射体に対する測定において異常があるか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段が前記反射体に対する測定において異常があると判定した場合、前記移動機構の駆動の停止を命じる停止命令を出力する停止命令出力手段とを備え、 前記産業機械は、 前記停止命令が入力された場合、前記移動機構の駆動を停止させる停止手段を備える ことを特徴とする測定システム。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ,  B23Q 17/00 ,  B23Q 17/24
FI (3件)：
G01B11/00 G ,  B23Q17/00 A ,  B23Q17/24 B
Fターム (20件)：
2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065BB15 ,  2F065CC10 ,  2F065DD16 ,  2F065FF28 ,  2F065FF44 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065NN16 ,  2F065NN20 ,  2F065PP05 ,  3C029EE02 ,  3C029EE20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (12件)
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