真空ポンプ及びその駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅野中
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-202897
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027178
特許番号：特許第3558557号
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空ポンプ本体の吸気側と負荷との間が第1のバルブにより連通遮断可能に接続され、かつ前記真空ポンプ本体の吸気側が大気圧側に第2のバルブにより連通遮断可能に接続されており、前記負荷の負荷状態を検出し負荷状態に応じて、前記第1のバルブと前記第2のバルブを切替えることにより、真空ポンプ本体の吸気側圧力を高真空と大気圧付近とに切替えて、真空ポンプ本体の消費電力量を抑制することを特徴とする真空ポンプ。

IPC (1件)：