特許
J-GLOBAL ID：201103010572301876

微粒子配列構造体及びその製造方法

発明者：
阿波嵜 実

阿波嵜 実 について

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諸貫 信行

諸貫 信行 について

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杉山 正和

杉山 正和 について


出願人/特許権者：
富士電機システムズ株式会社

富士電機システムズ株式会社 について

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公立大学法人首都大学東京

公立大学法人首都大学東京 について

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国立大学法人 東京大学

国立大学法人 東京大学 について


代理人 (1件)： 松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-209244
公開番号（公開出願番号）：特開2011-056626
出願日： 2009年09月10日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】溝構造の内壁の選択された所定の壁部にのみ微粒子の配列集合体を形成させる技術を提供する。【解決手段】表面に所定の幅及び深さを有する溝13が形成された基板10の溝に、微粒子を溶媒に懸濁してなる微粒子懸濁液2を充填し、充填した微粒子縣濁液の溶媒を乾燥させ、溝の壁部に、微粒子が単層又は複数層で配列してなる微粒子の配列集合体32を形成させる微粒子配列構造体の製造方法において、微粒子が懸濁した溶媒の、溝の壁部に対するメニスカス先端部が、溝の壁部の選択された所定の領域のみを移動するようにして、溝の選択された所定の壁部にのみ、微粒子の配列集合体を形成させる。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基板に形成された溝の選択された所定の壁部にのみ、微粒子が単層又は複数層で配列して形成されていることを特徴とする微粒子配列構造体。
IPC (6件)：
B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  B05D 1/18 ,  B05D 7/00 ,  B05D 7/24 ,  C23C 26/00
FI (6件)：
B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B05D1/18 ,  B05D7/00 N ,  B05D7/24 303H ,  C23C26/00 Z
Fターム (29件)：
4D075AB03 ,  4D075AB36 ,  4D075BB24Z ,  4D075BB56Z ,  4D075DA32 ,  4D075EA12 ,  4D075EB22 ,  4D075EB44 ,  4D075EB57 ,  4D075EC02 ,  4D075EC07 ,  4D075EC24 ,  4D075EC54 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA06 ,  4K044BA08 ,  4K044BA10 ,  4K044BA13 ,  4K044BA14 ,  4K044BA21 ,  4K044BB10 ,  4K044BB11 ,  4K044BC14 ,  4K044CA07 ,  4K044CA24 ,  4K044CA27 ,  4K044CA29
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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