特許
J-GLOBAL ID:201103021729730441

中空微小体およびその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 小林 浩 ,  片山 英二 ,  藤田 尚 ,  鈴木 康仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-130512
公開番号(公開出願番号):特開2011-101941
出願日: 2010年06月07日
公開日(公表日): 2011年05月26日
要約:
【課題】目的の元素成分のみで構成された微小体とその作製方法を提供すること。【解決手段】本発明は、有機物にて構成された微小な構造体を鋳型として、基板上に配置し、真空蒸着法などにより、有機物構造体の表面に目的の元素を堆積させ、その後、紫外線-オゾン処理法などにより、鋳型である有機物構造体を分解除去することにより、目的の元素成分のみで構成された微小体を得ることを含む微小体の製造方法を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の1以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体。
IPC (7件):
B82B 1/00 ,  G01N 33/543 ,  B82B 3/00 ,  G01N 33/553 ,  G01N 33/53 ,  G01N 33/552 ,  C09K 11/00
FI (7件):
B82B1/00 ,  G01N33/543 591 ,  B82B3/00 ,  G01N33/553 ,  G01N33/53 M ,  G01N33/552 ,  C09K11/00 Z
Fターム (3件):
4H001CA01 ,  4H001CA02 ,  4H001CF01
引用特許:
審査官引用 (22件)
全件表示
引用文献:
前のページに戻る