特許
J-GLOBAL ID：201103023320964303
ポジ型感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高松 猛
, 矢澤 清純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-212946
公開番号（公開出願番号）：特開2002-023353
特許番号：特許第4150491号
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、
(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂
を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物において、
該(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物が少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換されたベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、アントラセンスルホン酸を発生する化合物であり、該樹脂(B)が下記一般式(II)〜(V)のいずれかで表される繰り返し単位を有し、かつ、該樹脂(B)が芳香環を含まないことを特徴とする、ArFエキシマレーザー露光用ポジ型感光性組成物。
式(II)〜(V)中、
R11、R12、R14〜R16は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。R11、R12、R14〜R16は、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。
R13は、シアノ基、-CO-OR23又は-CO-NR24R25を表す。ここで、R23は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基、又は酸分解性基を表す。R24、R25は、水素原子又は、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基を表す。R24、R25は、互いに同一でもよく、異なっていてもよい。互いに結合して、窒素原子とともに環を形成してもよい。
X1 〜X3は、単結合又は2価の基を表す。
Aは、単環又は多環の環状炭化水素基を表す。
nは0又は1である。
Xa,Xbは、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
Ya,Ybは、水素原子、水酸基、又は-COOXcで示される基を表す。Xcは水素原子又はアルキル基、または-COOXc全体で酸分解性基を構成する基を表す。
IPC (3件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/004 503 A
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 504
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
