特許
J-GLOBAL ID：201103027520721079
電子顕微鏡及び試料分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-019765
公開番号（公開出願番号）：特開2011-159483
出願日： 2010年01月29日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：
【課題】試料内部の結晶方位情報を容易に取得可能にすることを図る。【解決手段】試料11に電子ビーム1aを照射するための電子ビーム鏡筒1と、試料11を支持する試料台3と、試料11から放出される後方散乱電子を検出するための散乱電子検出器6と、試料11に集束イオンビーム2bを照射するための集束イオンビーム鏡筒2とを有する電子顕微鏡を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子ビームを照射するための電子ビーム鏡筒と、
試料を支持する試料台と、
前記試料に集束イオンビームを照射し断面を形成するための集束イオンビーム鏡筒と、
前記電子ビームの照射により前記断面から発生する後方散乱電子を検出するための散乱電子検出器と、を有する電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, H01J 37/317
, H01J 37/22
H01J37/244
, H01J37/317 D
, H01J37/22 502H
5C033NN02
, 5C033NN03
, 5C033NN10
, 5C034DD03
, 5C034DD09
