特許
J-GLOBAL ID：201103050972955206

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
岩戸 薫

岩戸 薫 について

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片岡 祥平

片岡 祥平 について

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樽谷 晋司

樽谷 晋司 について

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上村 聡

上村 聡 について

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榎本 雄一郎

榎本 雄一郎 について

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藤井 佳奈

藤井 佳奈 について

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加藤 啓太

加藤 啓太 について

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土橋 徹

土橋 徹 について

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水谷 一良

水谷 一良 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (18件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-077432
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209520
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】現像欠陥性能、液浸欠陥性能、及び限界解像力に優れ、且つ良好な形状を有したパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた第1繰り返し単位を含み且つ酸の作用により有機溶剤を含んだ現像液に対する溶解度が減少する樹脂と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、疎水性樹脂とを含有している。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた第1繰り返し単位を含み且つ酸の作用により有機溶剤を含んだ現像液に対する溶解度が減少する樹脂と、 活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、 疎水性樹脂と を含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/36 ,  C08F 32/04
FI (5件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/32 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/36 ,  C08F32/04
Fターム (98件)：
2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096DA01 ,  2H096GA03 ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF21P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH12 ,  2H125AH15 ,  2H125AH18 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ13X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ67X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ88Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL22 ,  2H125AL23 ,  2H125AM12P ,  2H125AM22P ,  2H125AM27P ,  2H125AM30P ,  2H125AM43P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN11P ,  2H125AN29P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN50P ,  2H125AN53P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN59P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CD12P ,  2H125CD40 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AL03S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA17P ,  4J100BA22Q ,  4J100BA22R ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC08S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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