ネガ型感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターン形成・製造方法、並びに半導体装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 中村和広 , 小野田浩之 , 齋藤都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-075286
公開番号（公開出願番号）：特開2011-059656
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】電気・電子材料の製造に有用な塗膜として、保存安定性に優れ、さらに銅又は銅合金上で高感度かつ高解像度の硬化レリーフパターンを与えうる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】以下の:(A)ポリイミド前駆体:100質量部、(B)光重合開始剤:1〜20質量部、及び(C)尿素化合物、若しくはその重合体化合物、及び下記一般(4):で表される化合物、若しくはその重合体化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物、若しくはその重合体化合物:0.1〜30質量部、を含むネガ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

以下の: (A)下記一般式(1):

IPC (6件)：

G03F 7/027 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 73/10 , C08F 290/14

FI (7件)：

G03F7/027 514 , G03F7/004 501 , G03F7/004 502 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G73/10 , C08F290/14

Fターム (127件)：

2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096HA01 , 2H125AC32 , 2H125AC66 , 2H125AD06 , 2H125AE04P , 2H125AN21P , 2H125AN23P , 2H125AN29P , 2H125AN31P , 2H125AN41P , 2H125AN55P , 2H125AN57P , 2H125AN62P , 2H125AN65P , 2H125AN84P , 2H125AN87P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CA13 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125FA05 , 4J043PA01 , 4J043PC085 , 4J043QB31 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA85 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA22 , 4J043TA35 , 4J043TA78 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA142 , 4J043UA152 , 4J043UA232 , 4J043UA251 , 4J043UB011 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB132 , 4J043UB141 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA041 , 4J043VA042 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043VA082 , 4J043XA19 , 4J043YA06 , 4J043ZB22 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127AA06 , 4J127BB041 , 4J127BB042 , 4J127BB081 , 4J127BB082 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BC031 , 4J127BC032 , 4J127BC151 , 4J127BC152 , 4J127BD261 , 4J127BD262 , 4J127BE24Y , 4J127BE241 , 4J127BE242 , 4J127BF44Y , 4J127BF441 , 4J127BF442 , 4J127BF53Y , 4J127BF531 , 4J127BG05Y , 4J127BG051 , 4J127BG052 , 4J127BG09Y , 4J127BG091 , 4J127BG12Y , 4J127BG121 , 4J127BG122 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG172 , 4J127BG25Y , 4J127BG251 , 4J127BG252 , 4J127CB281 , 4J127DA23 , 4J127DA24 , 4J127DA25 , 4J127FA17 , 4J127FA37 , 4J127FA38

引用特許：

審査官引用 (9件)

感光性ポリイミド前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090129 出願人：東レ株式会社
添加剤、化合物の製造方法、フォトレジスト組成物、フォトレジストパターン形成方法、及び、半導体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-261342 出願人：現代電子産業株式会社
ネガ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-276496 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

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