特許
J-GLOBAL ID：200903084896322154

ネガ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法及び電子部品

発明者：
峯岸 知典

峯岸 知典 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-276496
公開番号（公開出願番号）：特開2006-189788
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】感度や解像度も良好な耐熱性ネガ型感光性樹脂組成物、これを用いたアルカリ水溶液で現像可能で、感度、解像度及び耐熱性に優れ、良好な形状のパターンが得られるパターン形成方法、及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】第1導体層3、第2導体層7及び層間絶縁膜4が形成された半導体基板1に、ネガ型感光性樹脂組成物をスピンコートして乾燥し、所定部分に窓6Cを形成するパターンのマスク上から光を照射する。アルカリ水溶液にて現像後、加熱(硬化)して、表面保護膜8を形成する。前記ネガ型感光性樹脂組成物は、(a)末端にフェノール性水酸基を有するアルカリ水溶液可溶性のポリマー、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物、及び、(c)酸の作用により架橋あるいは重合し得る化合物を含有する。【選択図】 図1-5
請求項（抜粋）：
(a)末端にフェノール性水酸基を有するアルカリ水溶液可溶性のポリマーと、(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物と、及び(c)酸の作用により架橋あるいは重合し得る化合物とを含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/11 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/11 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (17件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB24 ,  2H025CB25 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025DA02 ,  2H025FA12
引用特許：
出願人引用 (31件)
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審査官引用 (6件)
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