特許
J-GLOBAL ID：201103077386143850

レチクル保護装置及び露光装置

発明者：
鈴木 素子

鈴木 素子 について

, 
大久保 至晴

大久保 至晴 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 特許業務法人OFH特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-007178
公開番号（公開出願番号）：特開2011-124591
出願日： 2011年01月17日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：
【課題】レチクルを保護する保護部材を設けた場合でも、レチクルを搬送して露光装置の取り付ける場合に、適当な位置に取り付け可能なレチクル搬送装置を提供する。【解決手段】位置測定装置29はレチクル1の下面に形成された位置測定用マーク26の位置を測定し、これによりレチクル1の位置を測定する。位置測定装置30は、下蓋2bの下面に形成された位置測定用マーク27の位置を測定し、これにより下蓋2bの位置を測定する。レチクル1の位置と下蓋2bの位置が分かれば、レチクル1と下蓋2bの相対的な位置ずれが分かる。よって、搬送装置によりレチクル1を搭載した下蓋2bを搬送して露光装置にセットするとき、このずれを勘案して下蓋2bの停止位置を決定することにより、レチクル1を正しく露光装置にセットできる。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
露光装置に使用されるレチクルの、少なくとも一部を保護するレチクル保護部材であって、その位置を検出するためのアライメントマークが設けられていることを特徴とするレチクル保護部材。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G03F 1/16 ,  H01L 21/673 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/68 ,  B65D 85/86
FI (7件)：
H01L21/30 531M ,  H01L21/30 514D ,  G03F1/16 A ,  H01L21/68 T ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 F ,  B65D85/38 R
Fターム (45件)：
2H095BA10 ,  2H095BE11 ,  3E096AA01 ,  3E096BA15 ,  3E096BA30 ,  3E096BB05 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096DA13 ,  3E096DA18 ,  3E096DA30 ,  3E096EA04X ,  3E096EA04Y ,  3E096EA06Y ,  3E096EA10Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA31 ,  3E096GA03 ,  3E096GA07 ,  3E096GA13 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031FA03 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA45 ,  5F031JA05 ,  5F031JA25 ,  5F031JA38 ,  5F031KA20 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031NA13 ,  5F031PA23 ,  5F046CB17 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD10 ,  5F046DC04 ,  5F046EC01 ,  5F046GD10 ,  5F046GD20
引用特許：
審査官引用 (17件)
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