特許
J-GLOBAL ID：201103077975993414
縮合環の芳香族環を含む保護基を有する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
八田 幹雄
, 野上 敦
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-299878
公開番号（公開出願番号）：特開2002-088124
特許番号：特許第4056208号
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】次の式(3)または(7)の構造を有することを特徴とする感光性ポリマー:
式中、R1は水素原子またはC1〜C4のアルキル基で、Yは水素原子、アルキル基、アルコキシ基またはtert-ブトキシカルボニルオキシ基で、Zは水素原子またはメチル基であり、lとmとnとは整数であって、l/(l+m+n)は0.05〜0.4で、n/(l+m+n)は0.1〜0.3で、yは1〜3の整数で、y=2以上のとき前記縮合環の芳香族環は線形環または分岐環である、
式中、R1は水素原子またはC1〜C4のアルキル基で、R2は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシル基またはtert-ブチルエステル基で、Zは水素原子またはメチル基で、lとmとnとは整数であって、l/(l+m+n)は0.3〜0.6で、m/(l+m+n)は0.3〜0.5で、n/(l+m+n)は0.1〜0.4で、yは1〜3の整数で、y=2以上のとき前記縮合環の芳香族環は線形環または分岐環である。
IPC (8件)：
C08F 220/18 ( 200 6.01)
, C08F 212/14 ( 200 6.01)
, C08F 222/06 ( 200 6.01)
, C08F 232/08 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/033 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C08F 220/18
, C08F 212/14
, C08F 222/06
, C08F 232/08
, G03F 7/004 501
, G03F 7/033
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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