特許
J-GLOBAL ID:201203056690670786
半導体装置と半導体装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
高田 守
, 高橋 英樹
, 久野 淑己
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-012325
公開番号(公開出願番号):特開2012-156207
出願日: 2011年01月24日
公開日(公表日): 2012年08月16日
要約:
【課題】本発明は、コレクタ層のキャリア濃度ピーク位置におけるキャリア濃度を下げつつ、当該キャリア濃度が製造環境雰囲気による汚染の影響を受けづらい半導体装置と半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本願の発明にかかる半導体装置は、キャリア濃度が最大となるキャリア濃度ピーク位置が表面から1μm以上離れた位置にあるコレクタ層を有する半導体基板と、該コレクタ層の表面に接するように形成されたコレクタ電極と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
キャリア濃度が最大となるキャリア濃度ピーク位置が表面から1μm以上離れた位置にあるコレクタ層を有する半導体基板と、
前記コレクタ層の表面に接するように形成されたコレクタ電極と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (4件):
H01L 29/78
, H01L 29/739
, H01L 29/12
, H01L 21/336
FI (4件):
H01L29/78 655C
, H01L29/78 652L
, H01L29/78 652T
, H01L29/78 658A
引用特許:
出願人引用 (10件)
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半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-312389
出願人:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-262499
出願人:富士電機デバイステクノロジー株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-049032
出願人:富士電機株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-043908
出願人:三菱電機株式会社
-
SiC半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-151373
出願人:新電元工業株式会社
-
炭化珪素半導体素子とその製造法及び用途
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-094770
出願人:株式会社日立製作所
-
特開昭53-122387
-
半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-065633
出願人:新電元工業株式会社, 本田技研工業株式会社
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-241953
出願人:富士電機株式会社
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-212488
出願人:株式会社デンソー
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審査官引用 (10件)
-
半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-312389
出願人:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-262499
出願人:富士電機デバイステクノロジー株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-049032
出願人:富士電機株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-043908
出願人:三菱電機株式会社
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SiC半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-151373
出願人:新電元工業株式会社
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炭化珪素半導体素子とその製造法及び用途
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-094770
出願人:株式会社日立製作所
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特開昭53-122387
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半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-065633
出願人:新電元工業株式会社, 本田技研工業株式会社
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-241953
出願人:富士電機株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-212488
出願人:株式会社デンソー
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