特許

J-GLOBAL ID：201203064622187891

静電容量型圧力センサ、圧力測定装置、及び、静電容量型圧力センサの製造方法

発明者： ハオ シュウシュン ,  蒋 永剛 ,  前中 一介 ,  藤田 孝之 ,  樋口 行平
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構 ,  兵庫県
代理人 (1件)： 奈良 泰宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-214023
公開番号（公開出願番号）：特開2012-068149
出願日： 2010年09月24日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：

【課題】圧力だけでなく温度をも検出できる静電容量型圧力センサを得る。【解決手段】本発明の静電容量型圧力センサ100は、第1の電極部4が形成されている基板1と、基板1の表面に絶縁体層2を介して形成されている第2の電極部7と、金属間接合によって形成されたボンディング層8を介して第2の電極部7に一部が接続され、圧力に応じて変形するダイアフラム部10と、絶縁体層2の表面に形成されている少なくとも白金を含む材料からなる温度センサ部22と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の電極部が形成されている基板と、 前記基板の表面に絶縁体層を介して形成されている第2の電極部と、 金属間接合によって形成されたボンディング層を介して前記第2の電極部に一部が接続され、圧力に応じて変形するダイアフラム部と、 前記絶縁体層の表面に形成されている少なくとも白金を含む材料からなる温度センサ部と、を備えていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 9/00

FI (1件)：

G01L9/00 305Z

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF01 ,  2F055FF49 ,  2F055GG01 ,  2F055GG49

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 静電容量型圧力センサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-193620   出願人：アルプス電気株式会社
• 特開平2-269912
  
• 圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-215982   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-205796   出願人：エプソントヨコム株式会社
• 積層体、開閉器、検出装置、接合部、配線、静電アクチュエータ、キャパシタ、計測装置及び無線機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-386814   出願人：オムロン株式会社