特許
J-GLOBAL ID：201203076694009317

真空化されたデバイス、および、走査型電子顕微鏡

発明者：
シャクハル、ドヴ

シャクハル、ドヴ について

, 
デ ピチョット、ラフィ

デ ピチョット、ラフィ について


出願人/特許権者：
ビー-ナノ リミテッド

ビー-ナノ リミテッド について


代理人 (6件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-528494
公開番号（公開出願番号）：特表2012-503856
出願日： 2009年09月24日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
真空化されたデバイスであって、当該デバイスは、密封されたハウジングと、電子線源と、電子光学部品と、薄膜と、検出器とを有する。該薄膜は、該密封されたハウジングのアパーチャを封止する。該密封されたハウジングは、真空が維持される真空化された空間を定める。該電子線源は、電子線を生成するように構成されており、該電子線は、該真空化された空間内を伝播し、該電子光学部品と相互作用し、かつ該薄膜を貫通する。該密封されたハウジングの第一の部分は、非真空環境に維持される真空化されない走査型電子顕微鏡部品によって定められる空間に適合するように形作られている。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
真空化されたデバイスであって、当該デバイスは、 密封されたハウジングと、 電子線源と、 電子光学部品と、 薄膜と、 検出器と を有し、 該薄膜は、該密封されたハウジングのアパーチャを封止しており、 該密封されたハウジングは真空化された空間を定め、該空間内で真空が維持され、 該電子線源は、電子線を生成するように構成されており、該電子線は、該真空化された空間内を伝播し、該電子光学部品と相互作用し、かつ該薄膜を貫通し、 該密封されたハウジングの第一の部分は、非真空の環境に維持される真空化されない走査型電子顕微鏡部品によって定められる空間に嵌り合うような形になっている、 前記真空化されたデバイス。
IPC (3件)：
H01J 37/18 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28 B
Fターム (5件)：
5C033KK01 ,  5C033KK07 ,  5C033KK09 ,  5C033MM07 ,  5C033UU10
引用特許：
審査官引用 (12件)
  • 差動排気走査形電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-134607   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
  • 電子ビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-182716   出願人：富士通株式会社
  • 走査型荷電粒子ビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-303710   出願人：日本電子株式会社
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