特許
J-GLOBAL ID：200903095812887889
荷電粒子線装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-128962
公開番号（公開出願番号）：特開2007-157682
出願日： 2006年05月08日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】 非蒸発ゲッターポンプを用いた荷電粒子線装置において、電子線を放射中であっても高真空を維持すると共に、異物発生をしない小型荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】 荷電粒子源1と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上に集束し走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系を排気するための真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記真空排気手段は、二つ以上の真空室を開口を介して結合した差動排気構造とし、真空度の高い上流側の真空室に非蒸発ゲッター合金からなるポンプ3を配して、前記非蒸発ゲッター合金のガス吸着表面が他の部材と非接触に保持するよう構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上に集束し走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系を排気するための真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記真空排気手段は、二つ以上の真空室を開口を介して結合した差動排気構造とし、真空度の高い上流側の真空室に非蒸発ゲッター合金からなるポンプを配して、前記非蒸発ゲッター合金のガス吸着表面が他の部材と非接触に固定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
-
荷電粒子線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-166076
出願人：株式会社アルバック
-
米国特許4,833,362号
-
電子光学鏡筒および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-258547
出願人：株式会社東芝
-
荷電粒子線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-366223
出願人：株式会社日立製作所
-
非蒸発型ゲッター
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-372014
出願人：三菱電機株式会社
全件表示
審査官引用 (16件)
-
電子顕微鏡装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-117607
出願人：株式会社日立製作所
-
画像形成装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-049066
出願人：キヤノン株式会社
-
特開平3-222876
全件表示
前のページに戻る
