特許
J-GLOBAL ID:201203078344977410
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
速水 進治
, 天城 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-066410
公開番号(公開出願番号):特開2012-054530
出願日: 2011年03月24日
公開日(公表日): 2012年03月15日
要約:
【課題】2つのトランジスタを混載した半導体装置において、ダミー配線を介して配線間で短絡が発生するのを防止し、信頼性の高い混載デバイスを実現可能にする。【解決手段】本発明の半導体装置は、微細CMOS4Aと、微細CMOS4Aに接続される微細配線15とを有する微細CMOS領域と、微細CMOS4Aよりも耐圧が高い高耐圧デバイス4Bと、高耐圧デバイス4Bに接続され、平面視において微細配線15よりも配線幅が広いドレイン配線115及びソース配線116と、を有する高耐圧デバイス領域と、を具備し、高耐圧デバイス領域には、電気的に孤立したダミー配線14が少なくともドレイン配線115及びソース配線116に隣接して配置されない。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第一のトランジスタと、
前記第一のトランジスタに接続される第一の配線と、
を有する第一領域と、
前記第一のトランジスタよりも耐圧が高い第二のトランジスタと、
前記第二のトランジスタに接続され、平面視において前記第一の配線よりも配線幅が広い第二の配線と、
を有する第二領域と、
を具備し、
前記第二領域には、電気的に孤立したダミー配線が少なくとも前記第二の配線に隣接して配置されない、半導体装置。
IPC (4件):
H01L 27/088
, H01L 21/823
, H01L 23/52
, H01L 21/320
FI (2件):
H01L27/08 102D
, H01L21/88 S
Fターム (51件):
5F033HH04
, 5F033HH08
, 5F033HH11
, 5F033HH19
, 5F033HH27
, 5F033HH33
, 5F033JJ18
, 5F033JJ19
, 5F033JJ33
, 5F033KK01
, 5F033KK27
, 5F033MM01
, 5F033MM07
, 5F033MM12
, 5F033MM13
, 5F033MM21
, 5F033MM29
, 5F033NN06
, 5F033NN07
, 5F033QQ09
, 5F033QQ11
, 5F033QQ13
, 5F033QQ37
, 5F033QQ48
, 5F033RR01
, 5F033RR04
, 5F033SS15
, 5F033UU04
, 5F033VV01
, 5F033VV06
, 5F033XX01
, 5F033XX31
, 5F048AA07
, 5F048AB10
, 5F048AC06
, 5F048BA01
, 5F048BA12
, 5F048BB05
, 5F048BB08
, 5F048BB12
, 5F048BB16
, 5F048BC03
, 5F048BD04
, 5F048BE09
, 5F048BF02
, 5F048BF06
, 5F048BF07
, 5F048BF11
, 5F048BF16
, 5F048BG13
, 5F048DA23
引用特許:
審査官引用 (11件)
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半導体集積回路装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-207585
出願人:株式会社ルネサステクノロジ
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-150431
出願人:株式会社デンソー
-
半導体装置及び半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-015909
出願人:パナソニック株式会社
-
絶縁配線層の平坦化
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-255398
出願人:テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-086783
出願人:日本電気株式会社
-
半導体ウェハのめっき方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-262815
出願人:株式会社デンソー
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-068233
出願人:富士通セミコンダクター株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-061985
出願人:NECエレクトロニクス株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-202147
出願人:ローム株式会社
-
半導体装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-162340
出願人:NECエレクトロニクス株式会社
-
表示装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-007357
出願人:東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社
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