特許
J-GLOBAL ID：201203078879492963

圧電基板およびその製造方法、並びに圧電振動片の製造方法

発明者：
村上 資郎

村上 資郎 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-251978
公開番号（公開出願番号）：特開2012-105074
出願日： 2010年11月10日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】機械的強度が高く、量産性に優れた圧電基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】圧電基板100は、ATカット水晶基板をからなる圧電基板であって、X軸およびZ ́軸を含む面であって、表裏の関係にある+Y ́側に位置する第1主面12および-Y ́側に位置する第2主面14を有する素子形成部10と、素子形成部10の外縁を囲む枠体部20と、を含み、枠体部20は、素子形成部10を介してX軸方向に対向する第1部分21および第2部分22と、素子形成部10を介してZ ́軸方向に対向する第3部分23および第4部分24と、を有し、第1部分の+Y ́面の幅1a、第2部分の前記+Y ́面の幅2a、第3部分の+Y ́面の幅3a、第4部分の+Y ́面の幅4aは、1a>2a>4a、1a>3a>4aの関係を満たす。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の-Y方向へ傾けた軸をZ ́軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY ́軸とし、前記X軸と前記Z ́軸に平行な面で構成され、前記Y ́軸に平行な方向を厚みとするATカット水晶基板からなる圧電基板であって、 前記X軸および前記Z ́軸を含む面であって、表裏の関係にある+Y ́軸側に位置する第1主面および-Y ́軸側に位置する第2主面を有する素子形成部と、 前記素子形成部の外縁を囲む枠体部と、 を含み、 前記枠体部は、 前記素子形成部を介して前記X軸方向に対向する第1部分および第2部分と、 前記素子形成部を介して前記Z ́軸方向に対向する第3部分および第4部分と、 を有し、 前記第1部分は、前記第2部分よりも-X軸側に位置し、 前記第3部分は、前記第4部分よりも-Z ́軸側に位置し、 前記第1部分、前記第2部分、前記第3部分、および前記第4部分の各々は、 前記第1主面よりも+Y ́軸側に位置する+Y ́面と、 前記+Y ́面と前記第1主面とを接続する第1接続面と、 を有し、 前記第1部分の前記+Y ́面の幅1a、前記第2部分の前記+Y ́面の幅2a、前記第3部分の前記+Y ́面の幅3a、前記第4部分の前記+Y ́面の幅4aは、1a>2a>4a、1a>3a>4aの関係を満たす、圧電基板。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09
FI (5件)：
H03H9/19 E ,  H03H3/02 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C
Fターム (11件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (11件)
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