カーボンナノチューブトランジスタアレイ及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：土井健二 , 林恒徳 , 柏谷昭司 , 渡邊弘一 , 眞鍋潔 , 伊藤壽郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-367516
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173428
特許番号：特許第5034231号
出願日： 2005年12月21日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】位置制御されて成長した100μm以上の長さの共通の一本の長尺成長半導体的カーボンナノチューブを区分した複数のカーボンナノチューブ要素と、前記カーボンナノチューブ要素毎に三端子電極を設けることで形成されたトランジスタとを有し、かつ該複数のカーボンナノチューブ要素は分離されていることを特徴とするカーボンナノチューブトランジスタアレイ。

IPC (8件)：

H01L 29/786 ( 200 6.01) , H01L 21/336 ( 200 6.01) , H01L 29/06 ( 200 6.01) , H01L 51/05 ( 200 6.01) , H01L 51/40 ( 200 6.01) , H01L 27/28 ( 200 6.01) , H01L 21/822 ( 200 6.01) , H01L 27/04 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01L 29/78 618 B , H01L 29/78 618 A , H01L 29/06 601 N , H01L 29/28 100 A , H01L 29/28 310 E , H01L 29/28 500 , H01L 27/04 F

引用特許：

審査官引用 (9件)

pn接合素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-346614 出願人：ソニー株式会社
ナノチューブ配列構造およびナノチューブ配列構造の生成方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-589397 出願人：インフィネオンテクノロジーズアクチエンゲゼルシャフト
サンプリング回路および画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-193748 出願人：シャープ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Carbon Nanotube Inter- and Intramolecular Logic Gates

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