特許

J-GLOBAL ID：201303034807613448

圧電素子及び液体吐出ヘッド

発明者： 青木 活水 ,  武田 憲一 ,  福井 哲朗 ,  舟窪 浩 ,  安井 伸太郎 ,  西田 謙
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-101368
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191870
出願日： 2013年05月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】圧電特性に優れた非鉛系の圧電体を用いた圧電体素子及び該圧電体素子を有する液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】基板上に設けられ、圧電体及び該圧電体に接する一対の電極を有する圧電体素子であって、前記圧電体は、Aサイト原子がBiからなりBサイト原子がCo及びFeで構成されているABO3型ペロブスカイト型酸化物からなり、前記Bサイト原子の原子数比Co/Feが15/85から35/65である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に設けられ、圧電体及び該圧電体に接する一対の電極を有する圧電体素子であって、 前記圧電体は、Aサイト原子がBiからなりBサイト原子がCo及びFeで構成されているABO3型ペロブスカイト型酸化物からなり、前記Bサイト原子の原子数比Co/Feが15/85から35/65であることを特徴とする圧電体素子。

IPC (7件)：

H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/319 ,  H01L 41/39 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045

FI (6件)：

H01L41/187 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/319 ,  H01L41/39 ,  B41J3/04 103A

Fターム (9件)：

2C057AF54 ,  2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG38 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP53 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 圧電体薄膜素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137892   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-308967   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 強誘電体メモリ材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-019129   出願人：セイコーエプソン株式会社
• ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-005314   出願人：富士フイルム株式会社

審査官引用 (3件)

• 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-308967   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 強誘電体メモリ材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-019129   出願人：セイコーエプソン株式会社
• ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-005314   出願人：富士フイルム株式会社