LCDガラス基板のエッチング方法およびその装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金倉喬二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-014598
公開番号（公開出願番号）：特開2013-155057
出願日： 2012年01月26日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】LCD用ガラス基板のエッチングにおいては、エッチングバスケット内の基板接触部により、エッチング液の流れを乱し、エッチングむらや治具跡むらが生じる問題があり、また、バブラーから出る泡が不安定になると、エッチング後のガラス基板の厚さにバラツキが生じる問題がある。【解決手段】エッチング液を入れたエッチング槽内に納めたエッチングバスケット内にガラス基板を並列に配置し、そのガラス基板を、エッチングバスケットの下方から放出される泡によって揺らしながらエッチングを行うことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

エッチング液を入れたエッチング槽内に納めたエッチングバスケット内にガラス基板を並列に配置し、そのガラス基板を、エッチングバスケットの下方から放出される泡によって揺らしながらエッチングを行うことを特徴とするLCDガラス基板のエッチング方法。

IPC (3件)：

C03C 15/00 , G02F 1/133 , G02F 1/13

FI (3件)：

C03C15/00 C , G02F1/1333 500 , G02F1/13 101

Fターム (10件)：

2H088FA19 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H090JB02 , 2H090JC01 , 2H190JB02 , 2H190JC01 , 4G059AA08 , 4G059AB19 , 4G059AC03

引用特許：

審査官引用 (11件)

表示パネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-280363 出願人：ソニー株式会社
ウエットエッチング処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-205015 出願人：松下電子工業株式会社
FPDの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-165269 出願人：西山ステンレスケミカル株式会社

全件表示

前のページに戻る