特許
J-GLOBAL ID:201303097286936263
液滴噴射装置、及び、圧電アクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-102790
公開番号(公開出願番号):特開2013-230580
出願日: 2012年04月27日
公開日(公表日): 2013年11月14日
要約:
【課題】高電位電極を金で形成してマイグレーションの発生を抑制するとともに、圧電層のクラック等による高電位電極の破断を防止すること。【解決手段】圧電アクチュエータは、圧力室24と対向して配置された圧電層30と、圧電層30に設けられた個別電極32及び共通電極33とを有する。駆動信号が印加される個別電極32は、圧電層30に接して配置された第1電極層38と、この第1電極層38に積層された第2電極層39を有する。第1電極層38は金で形成されている。第2電極層39は、第1電極層38よりも幅が小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成されている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
液滴を噴射するノズルとこのノズルに連通する圧力室とを有する流路構造体と、
前記流路構造体に設けられ、前記圧力室内の液体に噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室と対向して配置された圧電層と、
前記圧電層に設けられた低電位電極と、
同じく前記圧電層に設けられ、前記低電位電極よりも高い電位が付与される高電位電極と、を有し、
前記高電位電極は、
前記圧電層に接して配置され、金で形成された第1電極層と、
前記第1電極層に積層され、所定方向に延びるとともに前記所定方向と直交する方向の長さが前記第1電極層よりも小さく、且つ、金よりもマイグレーションが生じやすい導電材料で形成された第2電極層と、
を有することを特徴とする液滴噴射装置。
IPC (2件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2C057AF66
, 2C057AG44
, 2C057AG94
, 2C057BA14
引用特許:
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