特許
J-GLOBAL ID:201403001995635544
液滴吐出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
アイ・ピー・ディー国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-254129
公開番号(公開出願番号):特開2014-128789
出願日: 2013年12月09日
公開日(公表日): 2014年07月10日
要約:
【課題】液滴吐出装置を提供する。【解決手段】ステージ摺動部と、ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、ステージ摺動部から離隔して設けられてテスト基板に有機物液滴を吐出した後、有機物液滴のパターンを検査して吐出される有機物液滴のパターンを修正し、メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ステージ摺動部と、
前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、
前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、
前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査して吐出される前記有機物液滴のパターンを修正し、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、
を備える液滴吐出装置。
IPC (4件):
B05C 11/10
, B05C 5/00
, B05C 11/00
, B05C 13/02
FI (4件):
B05C11/10
, B05C5/00 101
, B05C11/00
, B05C13/02
Fターム (13件):
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA34
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042BA12
, 4F042BA25
, 4F042DF05
, 4F042DF25
, 4F042DF29
, 4F042DF34
, 4F042DH09
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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