特許
J-GLOBAL ID：200903043825522391

液滴吐出装置及び膜パターン形成方法

発明者：
森 俊正

森 俊正 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195620
公開番号（公開出願番号）：特開2006-015243
出願日： 2004年07月01日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 各ノズルからの着弾精度を上げ、これによって高精度の膜パターンを形成できるようにした液滴吐出装置と、これを用いた膜パターン形成方法とを提供する。【解決手段】 複数のノズルを有し、基体Sを載置するステージ39の上方に設けられてノズルから基体S上に液滴を吐出する液滴吐出ヘッド34と、液滴吐出ヘッド34とステージ39とを相対的に移動させる移動手段32、33と、液滴吐出ヘッド34から吐出された液滴の着弾状態を検知する検知手段60と、検知手段60で検知された液滴の着弾状態に基づいて各ノズルの吐出特性を検出し、この吐出特性に基づいて液滴吐出ヘッド34の吐出を制御する制御手段40と、ステージ39上に液滴吐出ヘッド34から吐出される液滴中の溶媒あるいは分散媒の蒸気を供給する蒸気供給手段と、を備えた液滴吐出装置30である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数のノズルを有し、基体を載置するステージの上方に設けられて前記ノズルから基体上に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、 前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを相対的に移動させる移動手段と、 前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の着弾状態を検知する検知手段と、 前記検知手段で検知された液滴の着弾状態に基づいて前記各ノズルの吐出特性を検出し、この吐出特性に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出を制御する制御手段と、 前記ステージ上に前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴中の溶媒あるいは分散媒の蒸気を供給する蒸気供給手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 ,  B05D 1/26
FI (2件)：
B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z
Fターム (18件)：
4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC78 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC92 ,  4D075BB57Z ,  4D075DA06 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F041BA57
引用特許：
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (10件)
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