特許
J-GLOBAL ID：201403052450333447

基板凍結乾燥装置及び方法

発明者：
シラド・ステファン・エム.

シラド・ステファン・エム. について

, 
ハイムズ・ダイアン

ハイムズ・ダイアン について

, 
シェップ・アラン・エム.

シェップ・アラン・エム. について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-513642
公開番号（公開出願番号）：特表2014-523636
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
要約：
【解決手段】基板を凍結乾燥させるための装置が提供される。基板を受け入れるためのチャンバが提供される。該チャンバ内には、基板を支えて静電クランプするための静電チャック(ESC)がある。温度コントローラが、静電チャックの温度を制御する。チャンバには、凝縮器がつながれる。真空ポンプが、チャンバと流体接続している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を凍結乾燥させるための装置であって、 基板を受け入れるためのチャンバと、 前記チャンバ内で前記基板を支えて静電クランプするための静電チャック(ESC)と、 前記静電チャックの温度を制御するための温度コントローラと、 前記チャンバにつながれた凝縮器と、 前記チャンバと流体接続している真空ポンプと、 を備える、装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/306 ,  F26B 5/06
FI (7件)：
H01L21/304 651M ,  H01L21/68 R ,  H01L21/306 Z ,  F26B5/06 ,  H01L21/304 651K ,  H01L21/304 648G ,  H01L21/304 651B
Fターム (56件)：
3L113AA01 ,  3L113AB02 ,  3L113AC14 ,  3L113AC24 ,  3L113AC28 ,  3L113AC67 ,  3L113BA34 ,  3L113CA10 ,  3L113CB13 ,  3L113CB16 ,  3L113DA04 ,  5F043DD12 ,  5F043DD15 ,  5F043DD24 ,  5F043DD30 ,  5F131AA02 ,  5F131BA17 ,  5F131BA37 ,  5F131CA01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB82 ,  5F131EB84 ,  5F131JA10 ,  5F131JA12 ,  5F131JA34 ,  5F131KA04 ,  5F131KA06 ,  5F131KA22 ,  5F131KA23 ,  5F157AA09 ,  5F157AA71 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AC03 ,  5F157AC24 ,  5F157BH18 ,  5F157BH19 ,  5F157CA21 ,  5F157CB03 ,  5F157CB14 ,  5F157CB22 ,  5F157CD21 ,  5F157CE03 ,  5F157CE10 ,  5F157CE57 ,  5F157CE59 ,  5F157CE62 ,  5F157CF04 ,  5F157CF34 ,  5F157CF38 ,  5F157CF42 ,  5F157DA21 ,  5F157DB33 ,  5F157DB37 ,  5F157DC90
引用特許：
審査官引用 (19件)
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