加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-062581
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165278
特許番号：特許第5611399号
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、第1モールドヘッドと第2モールドヘッドと、前記基板を保持して移動する基板駆動部と、を有し、前記第1モールドヘッドが保持するモールドにレジストを塗布する処理を含む準備工程と、前記第2モールドヘッドが保持するモールドに塗布されたレジストを基板に転写する転写工程とを並列して行い、前記基板の直径をWとしたときに、前記第1および第2のモールドヘッドの間隔Lは、L<Wであることを特徴とする加工装置。

IPC (2件)：